Spôsob a nástroj na opracovanie vnútorných stien kanálikov v krehkých materiáloch

Foto: RNDr. Dušan Korytár, CSc

Technológia nanoobrábania vnútorných stien kanálikov rtg monochromátorov (pripravených z monokryštálov ako Ge, Si, GaAs, InP a pod.) na nanoobrábacom centre, s využitím nástroja kruhového (kotúčového) tvaru, v ktorom je osadený monokryštál diamantu.

Konkurenčné výhody

  • dosiahnutie výrazne vyššej presnosti tvaru (rovinnosť vnútorných stien monochromátora);
  • dosiahnutie nízkej povrchovej drsnosti (pod 5 nm rms);
  • dosiahnutie minimálneho podpovrchového narušenia kryštálovej mriežky (na prípadné doleštenie stačí štvrtinová doba chemického dolešťovania oproti stochastickej metóde);
  • v prípade riešenia s dvoma diamantovými hrotmi, dosiahnutie extrémnej paralelnosti vnútorných stien kanálika inými metódami nedosiahnuteľnej.

Využitie technológie

  • na výrobu rtg kanálikovitých monochromátorov;
  • v oblasti ultrapresného opracovania v obmedzených priestoroch typu kanálikov v presnej a jemnej mechanike, mikrofluidike a optike.

Na stiahnutie

Ochrana duševného vlastníctva

  • Podaná prihláška (SK)
Späť